Miniatuursed vaakumpumbad on pumbad, mis kasutavad peamise töökeskkonnana gaasi. Need sobivad pikaajaliseks-tühikäigul ja kuivkäigul töötamiseks ning tekitavad vaakumi (negatiivse rõhu), käivitades membraani, et teostada gaasi imemist ja tühjendamist mootoriga -käivitatava edasi-tagasi liikumise kaudu. Nendel seadmetel on nii imi- kui ka väljatõmbedüüsid. Spetsiaalsete mudelite hulka kuuluvad kahe{5}}imemis-/paisutamis- ja vee-/gaasimudelid, mis sobivad erinevate töötingimustega.
Põhikomponentide hulka kuuluvad membraanpump ja vaakumkontroller. Tüüpiline toode on Busch RA0020F (pumpamiskiirus 20 m³/h, lõpprõhk 0,1 mbar). Tehnoloogiline areng keskendub miniaturiseerimisele, energiatõhususele ja intelligentsusele, mis hõlmab magnetlevitatsiooni tehnoloogiat, õlivaba määrimistehnoloogiat ja keskkonnasõbralikku disaini. Peamised rakendused hõlmavad meditsiiniseadmeid (imemisseadmed, ventilaatorid), keskkonnaseiret, pooljuhtide tootmist ja uut energiatööstust. Prognoositi, et siseturu suurus ulatub 2024. aastal 5 miljardi jüaanini.